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MEMS 加速度傳感器
310M/320M/330M系列MEMS加速度傳感器,采用變電容原理,當敏感元件受到加速度作用產(chǎn)生偏移,引起電容成比例變化;該傳感器MEMS敏感元件具有良好的低頻和直流響應(yīng)特性,體積小、重量輕、全密封、殼體可靠隔離,特別適合于分析低頻振動或線加速度運動。
可提供±2g到±200g各量程MEMS傳感器;輸出方式、量程及頻響范圍有要求請聯(lián)系我們。
技術(shù)參數(shù)
型號 | 310M02 320M02 330M02 |
310M02J 320M02J 330M02J |
310M05 320M05 330M05 |
310M05J 320M05J 330M05J |
310M10J 320M10J 330M10J |
310M20 320M20 330M20 |
310M50J 320M50J 330M50J |
310M12J 320M12J 330M12J |
310M22J 320M22J 330M22J |
靈敏度(mV/g) | 1000 | 1000 | 300 | 300 | 200 | 100 | 40 | 20 | 10 |
量程(g pk) | ±2 | ±2 | ±5 | ±5 | ±10 | ±20 | ±50 | ±100 | ±200 |
頻響 (±5%)(Hz) | 0~200 | 0~150 | 0~200 | 0~150 | 0~400 | 0~300 | 0~800 | 0~800 | 0~1000 |
分辨力(mg rms) | 2 | 0.1 | 3 | 0.3 | 0.8 | 6 | 2.5 | 5 | 10 |
型號 |
310M 系列 單軸 | 320M 系列 雙軸 | 330M 系列 三軸 | |||
通用型 | 精密型(后綴J) | 通用型 | 精密型(后綴J) | 通用型 | 精密型(后綴J) | |
輸出方式 | 單端 | 單端 | 單端 | |||
過載沖擊 | ±3.000g | ±5,000g | ±3.000g | ±5,000g | ±3.000g | ±5,000g |
激勵電壓 | +9~+15VDC | +9~+15VDC | +9~+15VDC | |||
溫度范圍 | -40~+85℃ | -40~+85℃ | -40~+85℃ | |||
輸出接頭 | 整體線纜3m(4芯) | 整體線纜3m(5芯) | 整體線纜3m(5芯) | |||
外殼材料 | 鈦合金 | 鈦合金 | 鈦合金 | |||
密封 | 焊接 | 焊接 | 焊接 | |||
重量 | 17克 | 20克 | 25克(不含電纜) | |||
尺寸(mm) | 21.5×21.5×10.5 | 24×24×15 | 28×28×20 | |||
安裝方式 | 2-Φ3(通孔) | 2-Φ3(通孔) |
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