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MEMS 加速度傳感器

發(fā)布時間:2024-02-02

MEMS 加速度傳感器

310M/320M/330M系列MEMS加速度傳感器,采用變電容原理,當(dāng)敏感元件受到加速度作用產(chǎn)生偏移,引起電容成比例變化;該傳感器MEMS敏感元件具有良好的低頻和直流響應(yīng)特性,體積小、重量輕、全密封、殼體可靠隔離,特別適合于分析低頻振動或線加速度運動。

可提供±2g到±200g各量程MEMS傳感器;輸出方式、量程及頻響范圍有要求請聯(lián)系我們。

技術(shù)參數(shù)


型號 310M02

320M02

330M02

310M02J

320M02J

330M02J

310M05

320M05

330M05

310M05J

320M05J

330M05J

310M10J

320M10J

330M10J

310M20

320M20

330M20

310M50J

320M50J

330M50J

310M12J

320M12J

330M12J

310M22J

320M22J

330M22J

靈敏度(mV/g) 1000 1000 300 300 200 100 40 20 10
量程(g pk) ±2 ±2 ±5 ±5 ±10 ±20 ±50 ±100 ±200

頻響 (±5%)(Hz) 0~200 0~150 0~200 0~150 0~400 0~300 0~800 0~800 0~1000
分辨力(mg rms) 2 0.1 3 0.3 0.8 6 2.5 5 10


型號
310M 系列 單軸 320M 系列 雙軸 330M 系列 三軸
通用型 精密型(后綴J) 通用型 精密型(后綴J) 通用型 精密型(后綴J)
輸出方式 單端 單端 單端
過載沖擊 ±3.000g ±5,000g ±3.000g ±5,000g ±3.000g

±5,000g

激勵電壓 +9~+15VDC +9~+15VDC +9~+15VDC
溫度范圍 -40~+85℃ -40~+85℃ -40~+85℃
輸出接頭 整體線纜3m(4芯) 整體線纜3m(5芯) 整體線纜3m(5芯)
外殼材料 鈦合金 鈦合金 鈦合金
密封 焊接 焊接 焊接
重量 17克 20克 25克(不含電纜)
尺寸(mm) 21.5×21.5×10.5 24×24×15 28×28×20
安裝方式 2-Φ3(通孔) 2-Φ3(通孔)


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